۱۳۹۶-۰۷-۱۵

مقاله باز توزيع ناخالصي آرسنيك (As) در رشد گرمايي و سرعت رشد اكسيد سيليسيم که چکیده‌ی آن در زیر آورده شده است، در زمستان ۱۳۸۴ در پژوهش فيزيک ايران از صفحه ۲۴۳ تا ۲۴۸ منتشر شده است.
نام: باز توزيع ناخالصي آرسنيك (As) در رشد گرمايي و سرعت رشد اكسيد سيليسيم
این مقاله دارای ۶ صفحه می‌باشد، که برای تهیه‌ی آن می‌توانید بر روی گزینه‌ی خرید مقاله کلیک کنید.
کلمات مرتبط / کلیدی:
مقاله پراكندگي برگشتي راترفورد
مقاله اكسيداسيون گرمايي
مقاله كشت يوني
مقاله بازتوزيع ناخالصي

نویسنده(ها):
جناب آقای / سرکار خانم: آقاعلي گل داوود
جناب آقای / سرکار خانم: باقي زاده علي
جناب آقای / سرکار خانم: فتحي داريوش

چکیده و خلاصه‌ای از مقاله:
در اين مقاله نحوه باز توزيع ناخالصي آرسنيک و تاثير آن را بر روي سرعت رشد اکسيد سيليسيم که به روش اکسيداسيون گرمايي )در دماي ۹۰۰°C و با استفاده از بخار آب( رشد داده شده است بررسي مي کنيم. ناخالصي آرسنيک به وسيله کشت يوني با انرژي ۱۰۰keV در نمونه سيليسيم با جهت بلوري (۱۰۰) کاشته شده و اثر ناخالصي آرسنيک با غلظتهاي  2×۱۰۱۶As+/cm2 و ۵×۱۰۱۶As+/cm2 بر سرعت رشد اکسيد سيليسيم به وسيله اندازه گيري ضخامت اکسيد به روش پراکندگي برگشتي راترفورد (RBS) بررسي مي شود. همچنين، نحوه توزيع ناخالصي آرسنيک و عمق آن از جمله مسايلي است که مي توان بدين وسيله مطالعه کرد. مقايسه اين نتايج با کارهاي قبلي انجام شده در زمينه اکسيداسيون سيليسيم براي نمونه هاي کشت شده، افزايش سرعت رشد را نشان مي دهد. ايجاد Shallow Junction ها از جمله نتايج مورد انتظار است.

© حقوق سایت محفوظ است